激光微调厚膜电阻器技术

本文论述了影响调阻精度和电阻器稳定性的各种因素。研究了设备的有关参数（光束功率，脉冲频率及调整速度）对电阻器性能的影响，并用Q开关YAG激光系统通过统计方法设计的试验来确定了这些影响的大小。文中提到用电子扫描显微镜检查激光切槽的质量以及这种切槽的质量赋切槽的绝缘电阻测量的关系。为了迅速确定切槽的稳定性，并提出了一种能用于生产而又相当简单的质量控制测试法。另外也还讨论了激光切槽设计和调整范围的精度与稳定性的影响。