精四氯化钛中氧碳杂质在线检测技术研究

利用红外光谱法对四氯化钛(TiCl_4)中的氧碳杂质含量进行检测,并成功将该检测方法应用于精TiCl_4的在线检测中。在线检测系统样品池由2个腔体串联组成,光程分别是10 mm和40 mm,其中10 mm光程用于检测CCl_4含量,40 mm光程用于检测COS、COCl_2、CS_2、C_6Cl_6、Si_2OCl_6、TiOCl_2、SO_2Cl_2、SOCl_2、VOCl_3、CCl_3COCl等化合物含量。样品池采用纯钛材质,窗片采用ZnSn材质,均具有较强的耐腐蚀性。实践证明,该在线检测技术有效解决了精TiCl_4检测过程中接触空气水解的难题,使精TiCl_4中氧碳杂质检测更加准确。