红外探测器阵列和环境温度下工作的光电导探测器

由于过去几年开展了3～5.5微米和8～14微米大气窗红外探测器的研制工作,使液氮到室温的红外探测器性能有了较大的提高,其主要进展如下:(1)于77°K工作的8～14微米碲镉汞(Hg_(1-x)Cd_xTe)探测器达到了背景限制性能;(2)制备了这些探测器的多元阵列;(3)制成了在77°K工作的3～5.5微米的InSb大面积多元阵列;(4)在环境温度和-80℃之间的3～5.5微米窗口Hg_(1-x)Cd_xTe达到了较高的探测度。对温度和空间分辨率有最高要求的情况下,就必须使用液氮温度下工作的InSb和Hg_(1-x)Cd_xTe多元阵列。本文第一部分概述光电导探测元件阵列的工艺过程,介绍它们的封装问题,并提供这些元件阵列目前可达到的性能水平。