| 高分辨力单轴法线跟踪测量方法 |
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| 作者姓名： | 潘思奇 付鲁华 康岩辉 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津 300072,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津 300072,中国计量科学研究院,长 度计量科学与精密机械测量技术研究所,北京 100029 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(2016YFF0200600)资助项目 (1.天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津 300072; 2.中国计量科学研究院,长度计量科学与精密机械测量技术研究所,北京 100029) |
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| 摘 要： | 为实现对大曲率表面轮廓进行高效、准确的非接 触测量,提出一种基于差动共焦原理的单轴法线跟踪式测量 方法,具有高分辨力和高信噪比的优点。分析了影响系统分辨力的因素,研究了在入射光为 高斯光束时倾斜对于差动 共焦探测的影响,通过理论模型及实验验证了光束倾斜时针孔偏移及针孔大小的最佳尺寸。 建立了相应的传感系统,实验表明,所建系统可以很好地跟踪被测表面,其轴向分辨 力优于5nm,组合高精度激光干涉测长系统后可用于大曲率表面轮廓的精密测量。
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| 关 键 词： | 差动共焦 高斯光束 大曲率轮廓测量 非接触测量 |
| 收稿时间： | 2017-04-05 |
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