|
|||||
|
|
| 微加工中皮秒~飞秒脉冲比较 | |
| 引用本文： | 范品忠.微加工中皮秒~飞秒脉冲比较[J].激光与光电子学进展,2002,39(2):46-46. |
| 作者姓名： | 范品忠 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 材料加工，主要是微加工中的许多应用正促进高重复率飞秒激光的研制。从物理学角度看，这种加工能定义为薄表面层材料的激光烧蚀，与周围物质没有明显的热交换。在金属中激光脉冲通常被电子吸收。在几皮秒时间内这些电子将它们的能量传输给晶格。在非金属（例如半导体和电介质）中，光电离和级联电离是初始激光脉冲吸收过程，其后的过程与金属情况相似。在紫外光辐照情况下，材料的烧蚀及其后转变成等离子体能在比蒸发温度低的温度下发生。当热量没从吸收区消散时，快速等离子体产生和薄层中的烧蚀是可能的。如果激光脉宽比热扩散时间短就会… |
| 关 键 词： | 微加工 激光烧蚀 高重复率飞秒激光 皮秒脉冲激光器 飞秒脉冲激光器 |
| 收稿时间： | 2001/4/28 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |