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| TDL—J75高温氧化物晶体炉的研制 | |
| 作者姓名： | 刘小云 张志新 |
| 作者单位： | 西安理工大学晶体生长设备研究所!西安710048 |
| 摘 要： | 简要介绍一种控制高温氧化物晶体和生长设备, 通过与国内外同类炉型相比较,着重对该设备的机械结构设计特点及电气控制系统作较详细的说明。 |
| 关 键 词： | 晶体生长炉 结构 氧化物晶体直拉法 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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