| 直线时栅测量系统的误差研究 |
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| 引用本文： | 高忠华,彭东林.直线时栅测量系统的误差研究[J].电子测量与仪器学报,2013,27(1):15-20. |
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| 作者姓名： | 高忠华 彭东林 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 合肥230009;重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心 重庆400054 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家自然科学基金，重庆市教育委员会科学技术研究 |
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| 摘 要： | 研究直线时栅位移测量系统中的误差规律,对提高时栅测量系统的测量精度及进一步优化系统结构具有重要意义。在分析直线时栅测量系统误差来源的基础上,定量分析了时栅误差、导轨误差、滑台及连接臂变形误差,建立了时栅测量系统的全误差模型;研制一套激光干涉仪与时栅测量系统标定实验装置,实现了时栅测量系统误差的分离,并利用该模型对测量系统进行误差修正,显著提高时栅测量系统的测量精度,修正后的精度达±8 m/m,测量不确定度减小一半。
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| 关 键 词： | 时栅测量系统 误差模型 误差修正 |
Study on error of linear time grating measurement system |
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| Gao Zhonghua
,
Peng Donglin.Study on error of linear time grating measurement system[J].Journal of Electronic Measurement and Instrument,2013,27(1):15-20. |
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| Authors: | Gao Zhonghua Peng Donglin |
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| Affiliation: | 1,2(1.School of Instrumentation Science and Opto-electronics Engineering,Hefei University of Technology,Hefei 230009,China;2.Engineering Research Center of Mechanical Testing Technology and Equipment,Ministry of Education,Chongqing University of Technology,Chongqing 400054,China) |
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