近红外诱导透射滤光片工艺稳定性的研究

本文提出了非对称诱导透射滤光片膜系,利用此膜系镀制诱导透射滤光片,可以同时采用极值法和微分法进行控制,从而提高了控制精度。并将此膜系与经典的对称膜系进行了比较,证明了两膜系的等效性。最后对两膜系的控制精度作了比较。图5,参3。