| 纳米Pt膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响 |
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| 作者姓名： | 曹炳阳 张清光 张兴 高桥厚史 声田龙也 乔文明 滕井丕夫 |
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| 作者单位： | 清华大学工程力学系热科学与动力工程教育部重点实验室,北京,100084;Graduate School of Engineering, Kyushu University, Fukuoka 812-8581, Japan;华东理工大学化学工程联合国家重点实验室,上海 200237;Institute for Materials Chemistry and Engineering, Kyushu University, Kasuga 816-8580, Japan |
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| 摘 要： | 采用电子束-物理气相沉积法（EB-PVD）制备了6个厚度为15-62nm的铂薄膜,研究了纳米薄膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响规律．当薄膜厚度小于30nm时,晶粒平均尺寸接近于薄膜的厚度;晶粒尺寸随着薄膜厚度的增加而增大并趋于定值;当薄膜厚度大于30nm时,晶粒尺寸约为20nm．受薄膜的表面和内部晶界的综合影响,铂纳米薄膜的热导率大大低于体材料的值,并且纳米薄膜的热导率随着薄膜厚度的增加而增大并趋于一个低于体材料热导率的值．
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| 关 键 词： | Pt纳米薄膜 热导率 晶粒尺寸 晶界效应 尺寸效应 |
| 文章编号： | 0412-1961（2006）11-1207-05 |
| 收稿时间： | 2006-02-24 |
| 修稿时间： | 2006-02-242006-05-29 |
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