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| 含F栅介质的Fowler-Nordheim效应 | |
| 作者姓名： | 张国强 严荣良 余学锋 高剑侠 任迪远 |
| 作者单位： | 中国科学院新疆物理研究所 |
| 摘 要： | 本文建立了一套用于ＭＯＳ电容热载流子损伤研究的自动测试分析系统,用高频和准静态Ｃ－Ｖ技术,分析研究了栅介质中Ｆ离子的引入所具有的抑制Ｆｏｗｌｅｒ－Ｎｏｒｄｈｅｉｍ高场应力损伤的特性,对Ｆ离子和高场应力作用机制进行了讨论． |
| 关 键 词： | 大规模集成电路 栅介质 F－N效应 测试 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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