| 碘过饱和KoH溶液腐蚀硅尖技术研究 |
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| 引用本文： | 韩建强,卢少勇,李青,王疆英.碘过饱和KoH溶液腐蚀硅尖技术研究[J].材料工程,2008(10). |
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| 作者姓名： | 韩建强 卢少勇 李青 王疆英 |
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| 作者单位： | 中国计量学院MEMS器件研究室,杭州,310018 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，中国计量学院123人才计划项目 |
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| 摘 要： | 氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥.通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下腐蚀出高的硅尖.更为重要的是该腐蚀液腐蚀的硅尖异于常规的不对称八棱锥,而是一种半锥角很小的"火箭尖"形状,因此可望获得更好的扫描特性和隧道效应.
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| 关 键 词： | AFM探针 削角 硅尖 各向异性腐蚀 微电子机械系统 |
Microfabrication Silicon Tips in Iodine-supersaturated KOH Solution |
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| HAN Jian-qiang,LU Shao-yong,LI Qing,WANG Jiang-ying.Microfabrication Silicon Tips in Iodine-supersaturated KOH Solution[J].Journal of Materials Engineering,2008(10). |
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| Authors: | HAN Jian-qiang LU Shao-yong LI Qing WANG Jiang-ying |
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