| GaAlAs/GaAs量子阱行波Mach-Zehnder光调制器电极传输线的微波响应 |
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| 引用本文： | 周剑英,李锡华,周小平,陈克坚,赵旭,王明华.GaAlAs/GaAs量子阱行波Mach-Zehnder光调制器电极传输线的微波响应[J].半导体学报,2003,24(11):1206-1210. |
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| 作者姓名： | 周剑英 李锡华 周小平 陈克坚 赵旭 王明华 |
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| 作者单位： | 浙江大学信息与电子工程学系，杭州310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;60277034; |
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| 摘 要： | 研制了利用直线法设计的基于Ga As衬底上的Mach- Zehnder行波光调制器.波导层使用了场诱折射率改变量较大的非对称多量子阱结构,采用脊型波导,并湿法刻蚀出台面以消除波导区以外的载流子引起的损耗.调制器电极微波特性测试结果表明频率响应在2 .5～2 0 GHz没有明显的起伏,但在低频段响应下降很快,另外微波损耗较大,讨论了其原因和改进方法.
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| 关 键 词： | 调制器 马赫-曾德尔 多量子阱 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)11-1206-05 |
| 修稿时间： | 2002年12月20日 |
Microwave Response of Electrode Transmission Line of GaAlAs/GaAs Quantum Wells Traveling-Wave Optical Modulator |
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| Zhou Jianying,Li Xihua,Zhou Xiaoping,Chen Kejian,Zhao Xu and Wang Minghua.Microwave Response of Electrode Transmission Line of GaAlAs/GaAs Quantum Wells Traveling-Wave Optical Modulator[J].Chinese Journal of Semiconductors,2003,24(11):1206-1210. |
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| Authors: | Zhou Jianying Li Xihua Zhou Xiaoping Chen Kejian Zhao Xu and Wang Minghua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | modulator Mach Zehnder MQW |
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