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铝靶电流对磁控溅射AlSn20镀层耐蚀性的影响
作者姓名:郭巧琴  蒋百灵  李建平  吴兵
作者单位:1.西安理工大学材料科学与工程学院;2.西安工业大学材料与化工学院
基金项目:陕西省教育厅专项科研计划项目,陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金资助项目
摘    要:采用非平衡磁控溅射镀膜设备通过改变铝靶电流在铝基轴承合金表面制备了AlSn20镀层。并对镀层的交流阻抗谱和塔菲尔曲线进行了电化学研究,定量分析了镀层的耐蚀性,并用失重法进行了进一步验证。利用SEM研究了镀层表面微观结构。结果表明,铝靶电流为1.5A时,轴承合金磁控溅射AlSn20镀层使合金的电化学阻抗提高5~6个数量级,可将镀层的自腐蚀电位提高到-1.12V,改善轴承合金的耐蚀性。铝靶电流是影响AlSn20镀层耐蚀性的一个重要因素,铝靶电流越小,其耐蚀性越好。

关 键 词:轴承合金  AlSn20镀层  耐蚀性  自腐蚀电位
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