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| 电化学测试技术在集成电路制程化学机械抛光中的应用现状 | |
| 引用本文： | 吴彤熙,高宝红,郑晴平,王玄石,曲里京,檀柏梅. 电化学测试技术在集成电路制程化学机械抛光中的应用现状[J]. 电镀与涂饰, 2021, 40(1): 54-58. DOI: 10.19289/j.1004-227x.2021.01.010 |
| 作者姓名： | 吴彤熙 高宝红 郑晴平 王玄石 曲里京 檀柏梅 |
| 作者单位： | 河北工业大学电子信息工程学院,天津 300130;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300130;河北工业大学电子信息工程学院,天津 300130;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300130;河北工业大学电子信息工程学院,天津 300130;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300130;河北工业大学电子信息工程学院,天津 300130;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300130;河北工业大学电子信息工程学院,天津 300130;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300130;河北工业大学电子信息工程学院,天津 300130;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300130 |
| 基金项目： | 河北省自然科学基金;国家科技重大专项;国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 简述了包括开路电位法、极化曲线法、恒电位法、电化学阻抗谱在内的常规电化学测试技术的原理.总结了近几年内这几种电化学测试技术在化学机械抛光领域研究中的应用现状,展望了未来的发展方向. |
| 关 键 词： | 集成电路 化学机械抛光 电化学测试 开路电位 极化曲线 恒电位 电化学阻抗谱 综述 |
Application status of electrochemical testing techniques in chemical mechanical polishing for integrated circuit manufacture |
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| WU Tongxi,GAO Baohong,ZHENG Qingping,WANG Xuanshi,QU Lijing,TAN Baimei. Application status of electrochemical testing techniques in chemical mechanical polishing for integrated circuit manufacture[J]. Electroplating & Finishing, 2021, 40(1): 54-58. DOI: 10.19289/j.1004-227x.2021.01.010 | |
| Authors: | WU Tongxi GAO Baohong ZHENG Qingping WANG Xuanshi QU Lijing TAN Baimei |
| Affiliation: | (School of Electronic and Information Engineering,Hebei University of Technology,Tianjin 300130,China;Tianjin Key Laboratory of Electronic Materials and Devices,Hebei University of Technology,Tianjin 300130,China) |
| Abstract: | The principles of several conventional electrochemical testing techniques i.e.open circuit potential method,polarization curve method,potentiostatic method,and electrochemical impedance spectroscopy were described,and their applications in the research of chemical mechanical polishing in recent years were summarized.The development directions in the future were prospected. |
| Keywords: | integrated circuit chemical mechanical polishing electrochemical testing open circuit potential polarization curve potentiostatic electrochemical impedance spectroscopy review |
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