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精密小轴直线度误差气动测量的研究
引用本文:罗克然,陶崇德,叶湘滨.精密小轴直线度误差气动测量的研究[J].电子工艺技术,1986(7).
作者姓名:罗克然  陶崇德  叶湘滨
作者单位:哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学
摘    要:一、前言随着对微电机、录音机等需求量的不断增加,精密小轴的产量也随之增加,对小轴的精度要求也越来越高,例如图1所示的某种录音机小轴对精度和表面粗糙度的要求都很高,直线度为1~3μm,园度为0.3~0.5μm,直径公差为0.002~0.006μm,长径比很大,这类精密小轴国内已有不少厂

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