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| 基于分布式射频MEMS移相器电容开关的分析与设计 | |
| 引用本文： | 贺训军,吴 群,金博识,宋明歆,殷景华.基于分布式射频MEMS移相器电容开关的分析与设计[J].传感技术学报,2006,19(5):1881-1884. |
| 作者姓名： | 贺训军 吴 群 金博识 宋明歆 殷景华 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院,哈尔滨,150001;哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨,150080 2. 哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院,哈尔滨,150001 3. 哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨,150080 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，哈尔滨工业大学校科研和教改项目 |
| 摘 要： | 通过分析MEMS电容开关的工作原理,设计出一种适合分布式射频MEMS移相器电路的新型电容开关.采用Intel lisuiteTM软件优化电容开关的驱动电压、响应时间、释放时间和机械振动模式.结果表明,开关驱动电压为2.5 V、响应时间小于30μs,释放时间大于60 μs和所有振动模式固有频率都大于15 KHz.与普通开关结构比较,该新型电容开关结构具有优越射频机电性能和响应时间,同时也对电容开关的制备工艺进行分析. |
| 关 键 词： | 分布式移相器 电容开关 驱动电压 响应时间 释放时间 振动模式 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1881-04 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Analysis and Design of Capacitive Switches for Distributed RF MEMS Phase Shifters |
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| HE Xun-jun,WU Qun,JIN Bo-shi,SONG Ming-xin,YIN Jing-hua.Analysis and Design of Capacitive Switches for Distributed RF MEMS Phase Shifters[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1881-1884. | |
| Authors: | HE Xun-jun WU Qun JIN Bo-shi SONG Ming-xin YIN Jing-hua |
| Abstract: | A novel capacitive switches structure for the distributed RF MEMS phase shifters is presented based on the analysis of the operation principle . The driven voltage, response time, release time and vibration modes of the capacitive switch are optimized by the IntellisuiteTM software. The simulation results show the driven voltage of 2.5V, the response time of low 30us, the release time of high 60us and vibration frequency of high 15KHz. This novel capacitive switch structure takes on superiority RF electromechanical performance and response time by comparing with the common structure switches. At same time, the analysis of fabrication processes on the capacitive switch for the distributed RF MEMS phase shifters is performed in this paper. |
| Keywords: | distributed phase shifters capacitive switches driven voltage response time release time vibration modes |
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