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JEM—100SX真空系统工作方式的改进—AES电路的研制
作者姓名:白永臣 赵迪
作者单位:辽宁大学分析测试中心,辽宁大学分析测试中心
摘    要:
JEM—100SX的真空系统具有一个较大的缺陷,那就是,V_4是手动阀,且原真空系统电路未建立起对V_4和V_5先后次序的控制。这样便造成了可能多次出现的照相室放气时的误操作。本文对原真空系统工作方式的弊端进行了讨论,并研制出一种真空系统的辅助电路AES(Attachment of Evacuation System)。这个电路能对V_4和V_5的先后顺序进行控制。JEM—100SX安装上AES电路可完全防止放气误操作。

关 键 词:电子显微镜 真空系统 AES 电路
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