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| 一种具有酒精气体敏感效应的碳薄膜／硅异质结材料及制备方法 | |
| 摘 要： | 专利号：CN101334413申请人：中国石油大学本发明提供了一种具有酒精气体敏感效应的碳薄膜／硅异质结材料及其制备方法，该材料是通过磁控溅射的方法，将纯度为99.9％的石墨靶或者将含有0～10％（质量分数）铁的铁-石墨复合靶溅射到抛光的硅基片上，形成一层厚度为20～200纳米的薄膜。该碳薄膜／硅异质结新材料具有明显的酒精气体敏感效应，可以用于制备电导型酒精气敏传感器，在室温下工作，制备简单，易实现器件的微型化、 |
| 关 键 词： | 异质结材料 制备方法 敏感效应 碳薄膜 硅基片 酒精 气体 中国石油大学 |
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