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多孔硅室温光致发光研究
引用本文:柳承恩,郑祥钦,阎峰,鲍希茂.多孔硅室温光致发光研究[J].半导体学报,1993,14(9):585-587.
作者姓名:柳承恩  郑祥钦  阎峰  鲍希茂
作者单位:南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系 南京 210008,南京 210008,南京 210008,南京 210008
摘    要:采用电化学和化学溶蚀法在体单晶硅上制备了高孔度多孔硅;室温下测量了蓝光激发的光致可见光谱,发现样品在大气环境中保存时光致发光谱随时间有显著“蓝移”,并渐趋稳定,谱峰位置“蓝移”约40nm;文中给出了发光膜的平面透射电镜形貌和电子衍射照片。“蓝移”和电镜照片的结果能用量子尺寸效应说明。文中还给出了喇曼谱仪上测得的光致发光谱和多孔硅的喇曼位移峰。

关 键 词:多孔硅  光致发光  室温  制备
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