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GaAs基GaSb体材料及InAs/GaSb超晶格材料的MBE生长
引用本文:郝瑞亭,徐应强,周志强,任正伟,牛智川.GaAs基GaSb体材料及InAs/GaSb超晶格材料的MBE生长[J].半导体学报,2007,28(7):1088-1091.
作者姓名:郝瑞亭  徐应强  周志强  任正伟  牛智川
作者单位:中国科学院半导体研究所 超晶格国家重点实验室,北京 100083;中国科学院半导体研究所 超晶格国家重点实验室,北京 100083;中国科学院半导体研究所 超晶格国家重点实验室,北京 100083;中国科学院半导体研究所 超晶格国家重点实验室,北京 100083;中国科学院半导体研究所 超晶格国家重点实验室,北京 100083
摘    要:采用分子束外延方法在GaAs(100)衬底上生长GaSb体材料,以此GaSb为缓冲层生长了不同InAs厚度的InAs/GaSb超晶格,其10K光致发光谱峰值波长在2.0~2.6 μm.高分辨透射电子显微镜观察证实超晶格界面清晰,周期完整.

关 键 词:分子束外延  GaAs  GaSb  InAs/GaSb超晶格
文章编号:0253-4177(2007)07-1088-04
修稿时间:2/5/2007 10:31:25 AM

GaSb Bulk Materials and InAs/GaSb Superlattices Grown by MBE on GaAs Substrates
Hao Ruiting,Xu Yingqiang,Zhou Zhiqiang,Ren Zhengwei and Niu Zhichuan.GaSb Bulk Materials and InAs/GaSb Superlattices Grown by MBE on GaAs Substrates[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(7):1088-1091.
Authors:Hao Ruiting  Xu Yingqiang  Zhou Zhiqiang  Ren Zhengwei and Niu Zhichuan
Affiliation:State Key Laboratory of Superlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;State Key Laboratory of Superlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;State Key Laboratory of Superlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;State Key Laboratory of Superlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China;State Key Laboratory of Superlattices and Microstructures,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China
Abstract:
Keywords:molecular beam epitaxy  GaAs  GaSb  InAs/GaSb superlattices
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