| 高分辨力闭环微加速度计接口电路 |
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| 引用本文： | 尹亮,刘晓为,陈伟平,周治平.高分辨力闭环微加速度计接口电路[J].半导体学报,2011,32(4):045005-8. |
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| 作者姓名： | 尹亮 刘晓为 陈伟平 周治平 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学MEMS中心 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划 |
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| 摘 要： | 本文报道一种电容式闭环微加速度计的低噪声、开关电容CMOS接口电路。采用相同电极分时复用的方法，从而避免电容敏感与静电力反馈的馈通现象。并设计PID电路保证真空封装的高Q值加速度计的闭环稳定性及动态响应特性。整体电路结构只需单端放大器，传输门和电容。测试结果显示，接口电路工作在±5V条件下，整体微加速度计具有±3g满量程，非线性0.05%，800Hz带宽，刻度因子为1.2V/g，噪声密度为0.8μg/ 。芯片采用2um 双金属双多晶N阱CMOS工艺加工，芯片面积15.2 mm2。测试结果证明，本文电路达到高精度微加速度计系统设计要求，可以应用到地震监测、石油勘探等领域中。
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| 关 键 词： | 电容式加速度计 接口电路 闭环 高分辨率 CMOS工艺 时分多路复用 PID控制器 运行电容 |
| 收稿时间： | 9/3/2010 10:51:02 PM |
High resolution interface circuit for closed-loop accelerometer |
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| Yin Liang,Liu Xiaowei,Chen Weiping and Zhou Zhiping.High resolution interface circuit for closed-loop accelerometer[J].Chinese Journal of Semiconductors,2011,32(4):045005-8. |
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| Authors: | Yin Liang Liu Xiaowei Chen Weiping and Zhou Zhiping |
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| Affiliation: | Department of Microelectronics, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China;Department of Microelectronics, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China; Key Laboratory of Micro-Systems and Micro-Structures Manufacturing, Ministry of Education, Harbin 150001, China;Department of Microelectronics, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China; Key Laboratory of Micro-Systems and Micro-Structures Manufacturing, Ministry of Education, Harbin 150001, China;Department of Microelectronics, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | closed-loop accelerometer interface circuit switched capacitor low noise |
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