| 半导体器件建模与优化系统 |
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| 引用本文： | 谢晓锋,鲁勇,李钊,阮骏,姚依,张文俊,杨之廉.半导体器件建模与优化系统[J].半导体学报,2003,24(3):327-331. |
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| 作者姓名： | 谢晓锋 鲁勇 李钊 阮骏 姚依 张文俊 杨之廉 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所 北京100084
(谢晓锋，鲁勇，李钊，阮骏，姚依，张文俊)，清华大学微电子学研究所 北京100084(杨之廉) |
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| 摘 要： | 随着器件尺寸的缩小 ,器件特性空间变得越来越复杂 .如果仍采用手工参数调整的方法 ,不仅需要有较好的器件物理知识 ,而且也不一定能得到合适的结果 .为节约设计时间 ,对半导体器件建模与优化系统 (MOSSED)进行了研究与实现 .该系统可以对半导体器件进行有效地建模、优化和综合 ,以得到所需要的器件 .通过一些实例对部分功能进行了说明 ,并和一些已有的系统进行了比较.
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| 关 键 词： | 响应表面方法 实验设计 遗传算法 微粒群优化 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)03-0327-05 |
| 修稿时间： | 2002年4月6日 |
Modeling and Optimization System for Semiconductor Devices |
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| Xie Xiaofeng,Lu Yong,Li Zhao,Ruan Jun,Yao Yi,Zhang Wenjun and Yang Zhilian.Modeling and Optimization System for Semiconductor Devices[J].Chinese Journal of Semiconductors,2003,24(3):327-331. |
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| Authors: | Xie Xiaofeng Lu Yong Li Zhao Ruan Jun Yao Yi Zhang Wenjun and Yang Zhilian |
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| Abstract: | As device dimensions continue to be decreased,device characteristics become more complicated.The method of adjusting parameter manually needs preferable knowledge on device physics,and can not always get suitable results.In order to reduce design time,the modeling and optimization system for semiconductor devices (MOSSED) is studied and implemented.The system can perform modeling,optimization and synthesis for semiconductor devices to achieve desired devices.Some functions are demonstrated by some examples.At last,the comparison to other systems is also performed. |
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| Keywords: | response surface methodology design of experience genetic algorithm particle swarm optimization |
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