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分子束外延生长高应变单量子阱激光器
引用本文:潘钟,李联合,徐应强,杜云,林耀望.分子束外延生长高应变单量子阱激光器[J].半导体学报,2001,22(9):1097-1101.
作者姓名:潘钟  李联合  徐应强  杜云  林耀望
作者单位:[1]中国科学院半导体研究所集成电子国家重点实验室,北京100083 [2]中国科学院半导体研究所集成电子国家重点实验室
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划);G2000036603;
摘    要:采用分子束外延方法研究了高应变 In Ga As/Ga As量子阱的生长技术 .将 In Ga As/Ga As量子阱的室温光致发光波长拓展至 116 0 nm,其光致发光峰半峰宽只有 2 2 me V.研制出 112 0 nm室温连续工作的 In Ga As/Ga As单量子阱激光器 .对于 10 0 μm条宽和 80 0 μm腔长的激光器 ,最大线性输出功率达到 2 0 0 m W,斜率效率达到 0 .84m W/m A,最低阈值电流密度为 45 0 A/cm2 ,特征温度达到 90 K.

关 键 词:InGaAs    分子束外延    高应变    量子阱激光器
文章编号:0253-4177(2001)09-1097-05
修稿时间:2001年3月9日

Highly-Strained InGaAs/GaAs Single-Quantum-Well Lasers Grown by Molecular Beam Epitaxy
PAN Zhong,LI Lianhe,Xu Yingqiang,DU Yun,LIN Yaowang.Highly-Strained InGaAs/GaAs Single-Quantum-Well Lasers Grown by Molecular Beam Epitaxy[J].Chinese Journal of Semiconductors,2001,22(9):1097-1101.
Authors:PAN Zhong  LI Lianhe  Xu Yingqiang  DU Yun  LIN Yaowang
Abstract:
Keywords:InGaAs  molecular beam epitaxy  high strain  quantum well laser
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