| 纳米Al/Al2O3多层膜的光电子谱与电性能 |
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| 引用本文： | 薛钰芝.纳米Al/Al2O3多层膜的光电子谱与电性能[J].半导体学报,2003,24(z1):65-69. |
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| 作者姓名： | 薛钰芝 |
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| 作者单位： | 大连铁道学院,大连,116028,澳大利亚新南威尔士大学光伏工程研究中心,新南威尔士 |
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| 摘 要： | 用热蒸发和自然氧化法制备纳米量级Al/Al2O3多层膜.检测XPS光电子能谱和UPS谱线,得到Ei(k∥I)关系曲线,并发现薄膜具有负阻特性.
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| 关 键 词： | Al/Al2O3多层膜 电子能谱 电性能 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)0-0065-05 |
| 修稿时间： | 2002年9月16日 |
Optical Electron Spectroscopy and Electronic Properties for Multilayers of Al/Al2O3 |
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| Martin A Green.Optical Electron Spectroscopy and Electronic Properties for Multilayers of Al/Al2O3[J].Chinese Journal of Semiconductors,2003,24(z1):65-69. |
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| Authors: | Martin A Green |
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| Keywords: | |
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