| SOI热光4×4光开关阵列的研制 |
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| 引用本文： | 王章涛,樊中朝,夏金松,陈少武,余金中. SOI热光4×4光开关阵列的研制[J]. 半导体学报, 2004, 25(12): 1573-1575 |
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| 作者姓名： | 王章涛 樊中朝 夏金松 陈少武 余金中 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室 北京100083(王章涛，樊中朝，夏金松，陈少武)，中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室 北京100083(余金中) |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) , 国家高技术研究发展计划(863计划) , 国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 设计和制作了由5个2×2多模干涉马赫-曾德开关元组成的重排无阻塞型SOI4×4热光开关阵列.阵列的最小和最大附加损耗分别为6.6和10.4dB,阵列的串扰为-12～-19.8dB,光开关阵列的开关速度小于30μs,单个开关元的功耗大约为330mW.
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| 关 键 词： | 集成光学 马赫-曾德干涉仪 开关阵列 光开关 |
Design and Fabrication of Thermo-Optic 4×4 Switching Matrix in Silicon-on-Insulator |
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| WANG Zhangtao,FAN Zhongchao,XIA Jinsong,Chen Shaowu,Yu Jinzhong. Design and Fabrication of Thermo-Optic 4×4 Switching Matrix in Silicon-on-Insulator[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2004, 25(12): 1573-1575 |
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| Authors: | WANG Zhangtao FAN Zhongchao XIA Jinsong Chen Shaowu Yu Jinzhong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | integrated optics silicon-on-insulator matrix switches PLC technology |
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