| ZnO-SnO_2透明导电膜的低温制备及性质 |
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| 引用本文： | 黄树来,马瑾,刘晓梅,马洪磊,孙征,张德恒. ZnO-SnO_2透明导电膜的低温制备及性质[J]. 半导体学报, 2004, 25(1): 56-59 |
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| 作者姓名： | 黄树来 马瑾 刘晓梅 马洪磊 孙征 张德恒 |
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| 作者单位： | 山东大学物理与微电子学院 济南250100(黄树来，马瑾，马洪磊，孙征)，山东大学计算机学院 济南250100(刘晓梅)，山东大学物理与微电子学院 济南250100(张德恒) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 在室温下,采用射频磁控溅射法在70 5 9玻璃衬底上制备出Zn O- Sn O2 透明导电薄膜.制备的薄膜为非晶结构,并且薄膜的电阻率强烈地依赖于溅射气体中的氧分压.薄膜的最小电阻率为7.2 7×10 - 3Ω·cm,载流子浓度为4 .3e1 9cm- 3、霍尔迁移率为2 0 .5 cm2 / (V·s) ,在可见光范围内的平均透过率达到了90 % .
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| 关 键 词： | 透明导电膜 ZnO-SnO2 射频磁控溅射 |
| 文章编号： | 0253-4177(2004)01-0056-04 |
| 修稿时间： | 2003-01-08 |
Preparation and Properties of Conducting Transparent ZnO-SnO2 Films Deposited at Room Temperature |
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| Huang Shulai ,Ma Jin ,Liu Xiaomei ,Ma Honglei ,Sun Zheng and Zhang Deheng. Preparation and Properties of Conducting Transparent ZnO-SnO2 Films Deposited at Room Temperature[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2004, 25(1): 56-59 |
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| Authors: | Huang Shulai Ma Jin Liu Xiaomei Ma Honglei Sun Zheng Zhang Deheng |
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| Affiliation: | Huang Shulai 1,Ma Jin 1,Liu Xiaomei 2,Ma Honglei 1,Sun Zheng 1 and Zhang Deheng 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | transparent conducting film ZnO-SnO 2 RF magnetron sputtering |
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