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fmax为100GHz的蓝宝石衬底AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管
引用本文:李献杰,曾庆明,周州,刘玉贵,乔树允,蔡道民,赵永林,蔡树军.fmax为100GHz的蓝宝石衬底AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管[J].半导体学报,2005,26(11).
作者姓名:李献杰  曾庆明  周州  刘玉贵  乔树允  蔡道民  赵永林  蔡树军
作者单位:河北半导体研究所,石家庄,050051;河北半导体研究所,石家庄,050051;河北半导体研究所,石家庄,050051;河北半导体研究所,石家庄,050051;河北半导体研究所,石家庄,050051;河北半导体研究所,石家庄,050051;河北半导体研究所,石家庄,050051;河北半导体研究所,石家庄,050051
基金项目:科技部科研项目,中国科学院资助项目
摘    要:制作了蓝宝石衬底上生长的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管.0V栅压下,0.3μm栅长、100μm栅宽的器件的饱和漏电流密度为0.85A/mm,峰值跨导为225mS/mm;特征频率和最高振荡频率分别为45和100GHz;4GHz频率下输出功率密度和增益分别为1.8W/mm和9.5dB,8GHz频率下输出功率密度和增益分别为1.12W/mm和11.5dB.

关 键 词:AlGaN/GaN  HEMT  蓝宝石

AlGaN/GaN High Electron Mobility Transistors on Sapphires with fmax of 100GHz
Li Xianjie,Zeng Qingming,Zhou Zhou,Liu Yugui,Qiao Shuyun,Cai Daomin,Zhao Yonglin,Cai Shujun.AlGaN/GaN High Electron Mobility Transistors on Sapphires with fmax of 100GHz[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(11).
Authors:Li Xianjie  Zeng Qingming  Zhou Zhou  Liu Yugui  Qiao Shuyun  Cai Daomin  Zhao Yonglin  Cai Shujun
Abstract:AlGaN/GaN high electron mobility transistors grown on sapphire substrates with a 0. 3μm gate length and 100μm gate width are fabricated. The device reveals a drain current saturation density of 0. 85A/mm at a gate voltage of 0V and a peak transconductance of 225mS/mm. The unity current gain cutoff frequency and maximum frequency of oscillation are obtained as 45 and 100GHz, respectively. The output power density and gain are 1. 8W/mm and 9.5dB at 4GHz,and 1.12W/mm and 11.5dB at 8GHz.
Keywords:AlGaN/GaN  HEMT  sapphire
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