| 三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法 |
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| 引用本文： | 喻文健,陆涛涛,王泽毅,洪先龙.三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法[J].半导体学报,2005,26(1). |
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| 作者姓名： | 喻文健 陆涛涛 王泽毅 洪先龙 |
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| 作者单位： | 清华大学计算机科学与技术系,设计自动化实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 基于直接边界元素法,提出一种边界电容矩阵概念,从而实现了三维互连电容的层次式提取算法.该算法将三维求解区域划分为若干小块,对每个小块分别计算其边界电容矩阵,再通过层次式合并算法便可得到全耦合互连电容矩阵.数值实验表明,本方法进行电容提取的速度比商业软件SpiceLink、虚拟多介质快速算法、区域分解法等均快一个数量级以上.
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| 关 键 词： | 超大规模集成电路 互连线 电容矩阵 层次式计算 边界元法 |
Hierarchical Extraction of Global Capacitance Matrix for 3D VLSI Interconnects |
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