| 硅基微型直接甲醇燃料电池的研究 |
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| 引用本文： | 王晓红,谢克文,姜英琪,钟凌燕,刘理天.硅基微型直接甲醇燃料电池的研究[J].半导体学报,2005,26(7). |
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| 作者姓名： | 王晓红 谢克文 姜英琪 钟凌燕 刘理天 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
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| 摘 要： | 设计了一种基于MEMS技术的硅基微型直接甲醇燃料电池(DMFC),采用流体力学软件进行了DMFC三维阳极模型的模拟,利用MEMS加工技术和PDMS封装工艺实现了这种燃料电池,并在室温下对有效面积为8600μm× 8600μm的电池样品进行了性能测试.测试得到该DMFC的开路输出电压为0.5V,短路工作电流密度达到78.1mA/cm2,最大输出功率密度为3.86mW/cm2.主要参数已达到了一些电子器件的要求,具有一定的实用价值.
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| 关 键 词： | 硅基微型燃料电池 直接甲醇燃料电池 PDMS MEMS |
A Silicon-Based Micro Direct Methanol Fuel Cell |
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| Wang Xiaohong,Xie Kewen,Jiang Yingqi,Zhong Lingyan,Liu Litian.A Silicon-Based Micro Direct Methanol Fuel Cell[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(7). |
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| Authors: | Wang Xiaohong Xie Kewen Jiang Yingqi Zhong Lingyan Liu Litian |
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| Keywords: | |
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