| Hg1-xCdxTe外延薄膜表面对红外透射光谱的影响 |
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| 引用本文： | 张小雷,孔金丞,马庆华,吴军,杨宇,姬荣斌.Hg1-xCdxTe外延薄膜表面对红外透射光谱的影响[J].半导体学报,2005,26(11):2102-2106. |
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| 作者姓名： | 张小雷 孔金丞 马庆华 吴军 杨宇 姬荣斌 |
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| 作者单位： | 云南大学化学与材料工程学院，昆明 650091;昆明物理研究所，昆明 650223;昆明物理研究所，昆明 650223;昆明物理研究所，昆明 650223;昆明物理研究所，昆明 650223;云南大学化学与材料工程学院，昆明 650091;昆明物理研究所，昆明 650223 |
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| 基金项目： | 致谢 衷心感谢昆明物理研究所宋炳文老师、杨彦老师在实验中给予的帮助和指导. |
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| 摘 要： | 利用傅里叶红外光谱仪测量液相外延生长的Hg1-xCdxTe薄膜,发现未经腐蚀的原生薄膜材料红外透射光谱经本征吸收后有吸收边倾斜并伴有透射比值偏低的现象.对红外透射光谱的影响因素进行了分析,用扫描电子显微镜、电子探针及轮廓仪对样品表面腐蚀前后进行测试,结果表明腐蚀前后Hg1-xCdxTe薄膜表面(深度约1μm)汞含量和表面平整度的差别是导致这一现象的主要原因.运用带-带尾态之间的跃迁理论及表面散射对这一现象进行了解释.
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| 关 键 词： | 碲镉汞 外延层 红外透射光谱 外延 薄膜表面 红外透射光谱 影响因素 Transmission Spectra Infrared HgCdTe Surface 解释 表面散射 理论 跃迁 带尾 运用 差别 表面平整度 汞含量 深度 结果 测试 |
| 文章编号： | 0253-4177（2005）11-2102-05 |
| 收稿时间： | 2005-04-01 |
| 修稿时间： | 2005-06-04 |
Effect of the Surface of HgCdTe Epilayers on Infrared Transmission Spectra |
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| Zhang Xiaolei,Kong Jincheng,Ma Qinghu,Wu Jun,Yang Yu and Ji Rongbin.Effect of the Surface of HgCdTe Epilayers on Infrared Transmission Spectra[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(11):2102-2106. |
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| Authors: | Zhang Xiaolei Kong Jincheng Ma Qinghu Wu Jun Yang Yu and Ji Rongbin |
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| Affiliation: | School of Chemistry and Material Engineering,Yunnan University,Kunming 650091,China;Kunming Institute of Physics,Kunming 650223,China;Kunming Institute of Physics,Kunming 650223,China;Kunming Institute of Physics,Kunming 650223,China;Kunming Institute of Physics,Kunming 650223,China;School of Chemistry and Material Engineering,Yunnan University,Kunming 650091,China;Kunming Institute of Physics,Kunming 650223,China |
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| Abstract: | Infrared transmission spectra of liquid phase expitaxial Hg1-xCdxTe films are measured with a FTIR spectrometer.It is found that the as-grown Hg1-xCdxTe films have a declining absorption edge and a low transmission rate in intrinsic absorption spectra. Hg1-xCdxTe films are etched and the effects of etching are analyzed by SEM,electron probe analyzer,and surface profiler.These measurements indicate that the differences in concentration of mercury and surface flatness of Hg1-xCdxTe film surfaces result in differences in infrared transmission spectra.Band-band tail transition theories and surface scattering mechanism are used to interpret the phenomenon. |
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| Keywords: | HgCdTe epilayer infrared transmission spectra |
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