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δ掺杂的赝形HEMTs AlGaAs/InGaAs/GaAs傅里叶变换光致发光光谱
引用本文:沈文忠,唐文国,李自元,沈学础.δ掺杂的赝形HEMTs AlGaAs/InGaAs/GaAs傅里叶变换光致发光光谱[J].半导体学报,1994,15(12):814-819.
作者姓名:沈文忠  唐文国  李自元  沈学础
作者单位:中国科学院红外物理国家实验室
摘    要:本文首次报道了δ掺杂的赝形高电子迁移率晶体管结构(HEMTs)Al0.30Ga0.70As/In0.15Ga0.85As/GaAs中的傅里叶变换光致发光光谱.观察到了n=1电子子带和n=2电子子带到n=1重空穴子带的强发光峰以及n=2电子子带到浅受主的弱发光峰,由于费米能级处在高于n=2电子子带的位置上,没有观察到属于费米边的发光峰,证实了理论上所预言的δ掺杂HEMTS系统具有转移效率高的优点.

关 键 词:HEMTS  砷化镓铝  砷化镓  傅里叶变换  光致发光
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