热载流子应力感应n-MOSFETsGIDL特性退化的机理 |
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引用本文: | 徐静平,黎沛涛.热载流子应力感应n-MOSFETsGIDL特性退化的机理[J].半导体学报,1999,20(12):1087-1092. |
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作者姓名: | 徐静平 黎沛涛 |
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作者单位: | [1]华中理工大学电子科学与技术系 [2]香港大学电机电子工程系 |
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摘 要: | 对不同栅氧化物n-MOSFETs的GIDL(Gate-InducedDrainLeakage)特性在不同热载流子应力下的退化行为进行了研究.发现GIDL的漂移对栅电压十分敏感,在VG=0.5VD的应力条件下呈现最大.通过对漏极附近二维电场及载流子分布的模拟,引入“亚界面陷阱”概念,对所涉及的机理提出了新见解,认为:在应力期间,亚界面和体氧化物空穴陷阱的解陷分别相应于VG=0.5VD和VG=VD两种典型应力下GIDL的漂移.实验还观察到N2O氮化,特别是N2O退火NH3氮化的n-MOSFETs比常规热氧化n
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关 键 词: | n-MOSFETs GIDL 热载流子应力 退化 |
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