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| 压力传感器用NiCr纳米薄膜 | |
| 引用本文： | 彭银桥,周继承,龙思锐,周宏广.压力传感器用NiCr纳米薄膜[J].半导体学报,2003,24(z1):91-93. |
| 作者姓名： | 彭银桥 周继承 龙思锐 周宏广 |
| 作者单位： | 中南大学信息科学与工程学院,长沙,410075 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;69890227,69771011,69971007; |
| 摘 要： | 采用离子束溅射纳米薄膜技术和半导体微细加工技术,将纳米薄膜应变电阻直接制作在金属弹性体上,实现了敏感元件与弹性体的原子结合,有效地解决了传统压力传感器中"零点漂移"技术难题,真正实现了在高温、振动等恶劣环境下的长期稳定性和可靠性. |
| 关 键 词： | 纳米薄膜 离子束溅射 压力传感器 稳定性 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)0-0091-03 |
| 修稿时间： | 2002年9月16日 |
NiCr Nanometer Thin Film for Pressure Sensors |
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