| PZT陶瓷靶材的制备及相成分分析 |
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| 引用本文： | 贺鳞翔,彭刚,杨卫明,郑朝丹,于军,王耘波.PZT陶瓷靶材的制备及相成分分析[J].半导体学报,2007,28(5). |
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| 作者姓名： | 贺鳞翔 彭刚 杨卫明 郑朝丹 于军 王耘波 |
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| 作者单位： | 华中科技大学电子科学与技术系,微电子研究所,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 采用固相反应法制备了一系列PZT陶瓷靶材,并用XRD对其进行了相成分分析.结果表明,PbO的富足可以大大抑制PbZrO3的分解,还可以抑制焦绿石相的产生,起到稳定钙钛矿相的作用.然而,过量的PbO会使材料局部区域的相成分发生波动,故而破坏相成分的一致性.此外,对单块的PZT样品进行烧结还会出现陶瓷分层现象,将多块样品放在一起烧结或采用先进的烧结工艺有利于抑制分层.
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| 关 键 词： | PZT 固相反应 烧结 钙钛矿相 焦绿石相 |
Preparation and Phase Analysis of PZT Ceramic Targets |
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| He Linxiang,Peng Gang,Yang Weiming,Zheng Chaodan,Yu Jun,Wang Yunbo.Preparation and Phase Analysis of PZT Ceramic Targets[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(5). |
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| Authors: | He Linxiang Peng Gang Yang Weiming Zheng Chaodan Yu Jun Wang Yunbo |
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