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| 单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 | |
| 引用本文： | 董培涛,李昕欣,张鲲,吴学忠,李圣怡,封松林.单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试[J].半导体学报,2007,28(9). |
| 作者姓名： | 董培涛 李昕欣 张鲲 吴学忠 李圣怡 封松林 |
| 作者单位： | 1. 国防科技大学机电工程与自动化学院,长沙,410073;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050 2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050 3. 国防科技大学机电工程与自动化学院,长沙,410073 |
| 摘 要： | 设计、制造并测试了一种单片集成的压阻式高性能三轴高g加速度计,量程可达105g.x和y轴单元均采用一种带微梁的三梁-质量块结构,z轴单元采用三梁-双岛结构.与传统的单悬臂梁结构或者悬臂梁-质量块结构相比,这两种结构均同时具有高灵敏度和高谐振频率的优点.采用ANSYS软件进行了结构分析和优化设计.中间结构层主要制作工艺包括压阻集成工艺和双面Deep ICP刻蚀,并与玻璃衬底阳极键合和上层盖板BCB键合形成可以塑封的三层结构,从而提高加速度计的可靠性.封装以后的加速度计采用落杆方法进行测试,三轴灵敏度分别为2.28,2.36和2.52 μV/g,谐振频率分别为309,302和156 kHz.利用东菱冲击试验台,采用比较校准法测得y轴和z轴加速度计的非线性度分别为1.4%和1.8%. |
| 关 键 词： | 硅微机械加工技术 三轴加速度计 压阻 高g 塑封 |
Design, Fabrication, and Characterization of a High-Performance Monolithic Triaxial Piezoresistive High-g Accelerometer |
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| Dong Peitao,Li Xinxin,Zhang Kun,Wu Xuezhong,Li Shengyi,Feng Songlin.Design, Fabrication, and Characterization of a High-Performance Monolithic Triaxial Piezoresistive High-g Accelerometer[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(9). | |
| Authors: | Dong Peitao Li Xinxin Zhang Kun Wu Xuezhong Li Shengyi Feng Songlin |
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