| 紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO2光波导器件 |
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| 引用本文： | 王玥,吴远大,李建光,安俊明,王红杰,尹小杰,张家顺,胡雄伟.紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO2光波导器件[J].半导体学报,2007,28(7). |
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| 作者姓名： | 王玥 吴远大 李建光 安俊明 王红杰 尹小杰 张家顺 胡雄伟 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 |
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| 摘 要： | 利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶(sol-gel)SiO2材料,在硅基片上旋涂成膜.研究了薄膜折射率和厚度随紫外曝光时间、后烘温度及时间等外界工艺条件的变化关系.利用紫外光直写技术,制作出1×2,1×4多模干涉(MMI)型分束器,并且观测到了分光效果较好的近场输出图像.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 紫外光直写 杂化 光波导 |
Fabrication of Hybrid Sol-Gel SiO2 Optical Waveguide Devices by UV-Light Imprinting |
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| Wang Yue,Wu Yuanda,Li Jianguang,An Junming,Wang Hongjie,Yin Xiaojie,Zhang Jiashun,Hu Xiongwei.Fabrication of Hybrid Sol-Gel SiO2 Optical Waveguide Devices by UV-Light Imprinting[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(7). |
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| Authors: | Wang Yue Wu Yuanda Li Jianguang An Junming Wang Hongjie Yin Xiaojie Zhang Jiashun Hu Xiongwei |
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