| MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术 |
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| 引用本文： | 黄庆安,刘祖韬,李伟华,李巧萍.MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术[J].半导体学报,2006,27(9). |
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| 作者姓名： | 黄庆安 刘祖韬 李伟华 李巧萍 |
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| 作者单位： | 东南大学微电子机械系统教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 给出了一种MEMS薄膜材料参数的在线测试技术与方法.这种技术包括微测试结构图形、测试硬件设备和测试分析软件.它能够快速测试MEMS薄膜的主要性能参数,并且测试设备和测试方法都与集成电路测试方案兼容,即所有材料参数的测试与提取都通过电学激励与电学测量来实现.文中首先给出了测试技术与方法的工作原理,然后对用标准表面微机械加工工艺制作的多晶硅薄膜进行了测试,实验结果表明该测试技术与方法的测试效率高、成本低,具有一定的工业应用价值.
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| 关 键 词： | MEMS 薄膜 材料参数 在线测试 |
A Test System for the in situ Extraction of the Material Parameters of MEMS Thin Films |
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| Huang Qing'an,Liu Zutao,Li Weihua,Li Qiaoping.A Test System for the in situ Extraction of the Material Parameters of MEMS Thin Films[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(9). |
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| Authors: | Huang Qing'an Liu Zutao Li Weihua Li Qiaoping |
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