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| 实现气敏元件高选择性的一种方法 | |
| 引用本文： | 吴兴惠,李艳峰,周桢来,田子华.实现气敏元件高选择性的一种方法[J].半导体学报,1993,14(7):439-444. |
| 作者姓名： | 吴兴惠 李艳峰 周桢来 田子华 |
| 作者单位： | 云南大学物理系，云南大学物理系，云南大学物理系，云南大学物理系 昆明 650091，昆明 650091，昆明 650091，昆明 650091 |
| 摘 要： | 本文提出一种提高半导体电阻式气敏元件选择性的新方法。这种方法的基本出发点是互补反馈原理。这种新型气敏元件的结构与原有的不同,由两种不同特性的敏感体组合而成,其组合方式可以是N-N,P-P,N-P等。文中给出了有关的理论讨论和在此理论指导下制作的高选择性乙醇气敏、丁烷气敏元件的实验结果,证明此理论是正确的。 |
| 关 键 词： | 气敏器件 半导体 气敏元件 选择 |
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