实现气敏元件灵敏度倍增的一种方法 |
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引用本文: | 吴兴惠,李艳峰,周桢来,田子华.实现气敏元件灵敏度倍增的一种方法[J].半导体学报,1994,15(9):643-649. |
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作者姓名: | 吴兴惠 李艳峰 周桢来 田子华 |
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作者单位: | 云南大学物理系 |
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摘 要: | 本文提出一种提高气敏元件灵敏度的方法,这种方法可实现灵敏度的倍增.元件结构为N-P型,元件的工作机制是互补倍增原理.研究表明,在适当条件下,整体气敏元件的灵敏度等于构成它的N、P两种敏感体各自灵敏度的乘积.此外,这种新型气敏元件还可提高热稳定性,减小零点漂移,甚至提高选择性等.本文在理论上给出了实现上述特性的条件.
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关 键 词: | 气敏元件 灵敏度 热稳定性 |
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