|
|||||
|
|
| 薄层电阻测试Mapping技术 | |
| 引用本文： | 孟庆浩,孙新宇,孙以材.薄层电阻测试Mapping技术[J].半导体学报,1997,18(9):701-705. |
| 作者姓名： | 孟庆浩 孙新宇 孙以材 |
| 作者单位： | 河北工业大学 |
| 摘 要： | 利用改进的范德堡法微区薄层电阻测试探针技术对n-Si片上的硼扩散图形进行薄层电阻的测量，并用发度表示其分布，可得到薄层电阻的不均匀度及平均值．这种所谓Mapping技术更有利于评价材料质量． |
| 关 键 词： | 薄层电阻测试 集成电路 Mapping技术 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《半导体学报》下载全文 | |