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| 半导体器件建模与优化系统 | |
| 引用本文： | 谢晓锋,鲁勇,李钊,阮骏,姚依,张文俊,杨之廉.半导体器件建模与优化系统[J].半导体学报,2003,24(3). |
| 作者姓名： | 谢晓锋 鲁勇 李钊 阮骏 姚依 张文俊 杨之廉 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
| 摘 要： | 随着器件尺寸的缩小,器件特性空间变得越来越复杂.如果仍采用手工参数调整的方法,不仅需要有较好的器件物理知识,而且也不一定能得到合适的结果.为节约设计时间,对半导体器件建模与优化系统(MOSSED)进行了研究与实现.该系统可以对半导体器件进行有效地建模、优化和综合,以得到所需要的器件.通过一些实例对部分功能进行了说明,并和一些已有的系统进行了比较. |
| 关 键 词： | 响应表面方法 实验设计 遗传算法 微粒群优化 |
Modeling and Optimization System for Semiconductor Devices |
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