| 具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作 |
| |
| 引用本文： | 董玮,阮圣平,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,张龙,孙东明,纪平,陈维友.具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作[J].半导体学报,2003,24(11):1196-1119. |
| |
| 作者姓名： | 董玮 阮圣平 张歆东 刘彩霞 贾翠萍 潘建旋 张龙 孙东明 纪平 陈维友 |
| |
| 作者单位： | 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室，长春130023 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);2002AA312023; |
| |
| 摘 要： | 分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,并通过倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极.理论分析和实验结果表明,倾斜下电极的pull-in电压几乎比平面下电极的pull- in电压降低一半.
|
| 关 键 词： | 微机械 光开关 扭臂 倾斜下电极 |
| 文章编号： | 0253-4177(2003)11-1196-04 |
| 修稿时间： | 2002年12月11日 |
Design and Fabrication of Torsion Beam Actuator Based on Slanted Low Electrode |
| |
| Dong Wei,Ruan Shengping,Zhang Xindong,Liu Caixia,Jia Cuiping,Pan Jianxuan,Zhang Long,Sun Dongming,Ji Ping and Chen Weiyou.Design and Fabrication of Torsion Beam Actuator Based on Slanted Low Electrode[J].Chinese Journal of Semiconductors,2003,24(11):1196-1119. |
| |
| Authors: | Dong Wei Ruan Shengping Zhang Xindong Liu Caixia Jia Cuiping Pan Jianxuan Zhang Long Sun Dongming Ji Ping and Chen Weiyou |
| |
| Abstract: | The relation between the applied voltage and the displacement at the end of upper electrode is studied.The actuator with the slanted low electrode is proposed and fabricated with certain tilting angle (111) silicon.Theoretical analysis and experiment results indicate that the pull in voltage based on the slanted low electrode actuator is half of that based on the flat low electrode. |
| |
| Keywords: | micromechanics optical switches torsion beam slanted low electrode |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
