| T形结构在位测量薄膜中残余张应力的理论研究 |
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| 引用本文： | 徐方迁,徐联,何世堂.T形结构在位测量薄膜中残余张应力的理论研究[J].半导体学报,2004,25(5):597-600. |
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| 作者姓名： | 徐方迁 徐联 何世堂 |
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| 作者单位： | 中国科学院声学研究所，中国科学院声学研究所，中国科学院声学研究所 北京100080，华北科技学院电子信息工程系，北京101601，北京100080，北京100080 |
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| 基金项目： | 中国科学院知识创新工程项目 |
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| 摘 要： | 给出了考虑梁的轴向载荷情况下理论计算公式的推导过程 ,在变形较大时两种公式计算结果最大相差9.6 5 % .用 L PCVD技术制作了几种大小不同的 T形梁结构 ,给出了残余张应力与杨氏模量比值 .
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| 关 键 词： | 应力 膜 变形 |
| 文章编号： | 0253-4177(2004)05-0597-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月17日 |
Study of In Situ Measurement of Residual Tensile Stress in Thin Films for T-Shaped Microstructures |
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| Xu Fangqian ,Xu Lian and He Shitang.Study of In Situ Measurement of Residual Tensile Stress in Thin Films for T-Shaped Microstructures[J].Chinese Journal of Semiconductors,2004,25(5):597-600. |
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| Authors: | Xu Fangqian Xu Lian and He Shitang |
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| Affiliation: | Xu Fangqian 1,2,Xu Lian 1 and He Shitang 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | stress film flection |
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