| 碳原子的再分布对铂上高质量单层石墨烯生长的影响 |
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| 引用本文： | 李银英,伍晓明,吴华强,钱鹤.碳原子的再分布对铂上高质量单层石墨烯生长的影响[J].半导体学报,2015,36(1):013005-6. |
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| 作者姓名： | 李银英 伍晓明 吴华强 钱鹤 |
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| 摘 要： | 二维材料石墨烯以其独特的性质显示出在众多领域的应用潜力。化学气相淀积(CVD)作为最有效的生长单层石墨烯的方法得以良好发展。但在CVD方法中,频繁出现的多层石墨烯“点”严重影响单层石墨烯的有效面积,进而限制了石墨烯在很多场景中的应用。本文通过引入一个新的阶段-再分布阶段,使得在分解阶段溶解在铂片中的碳原子重新分布,进而减少了多层石墨烯“点”的数目。单层石墨烯的平均面积增加到16000μm2,较未引入再分布阶段的单层面积增大了八倍。最后,拉曼光谱仪的测试结果说明了新方法下生长的石墨烯的高质量特征。
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| 关 键 词： | graphene synthesis platinum redistribution stage monolayer grapheme |
| 收稿时间： | 6/5/2014 12:00:00 AM |
Redistribution of carbon atoms in Pt substrate for high quality monolayer graphene synthesis |
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| Li Yinying,Wu Xiaoming,Wu Huaqiang and Qian He.Redistribution of carbon atoms in Pt substrate for high quality monolayer graphene synthesis[J].Chinese Journal of Semiconductors,2015,36(1):013005-6. |
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| Authors: | Li Yinying Wu Xiaoming Wu Huaqiang and Qian He |
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| Affiliation: | Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | graphene synthesis platinum redistribution stage monolayer grapheme |
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