| 一种可适应复杂互连电容结构的边界元形体处理方法 |
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| 引用本文： | 喻文健,王泽毅,王玉刚,陆涛涛,陈瑞明.一种可适应复杂互连电容结构的边界元形体处理方法[J].半导体学报,2004,25(2). |
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| 作者姓名： | 喻文健 王泽毅 王玉刚 陆涛涛 陈瑞明 |
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| 作者单位： | 清华大学计算机科学与技术系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，美国Anchor Semiconductor公司资助项目 |
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| 摘 要： | 针对当前集成电路中日益复杂的互连结构,提出了一种边界元电容提取中的形体处理方法,可适用于填充气隙、保形介质、多平面介质,以及任意复杂的寄生电容结构.在该处理方法中采用多叉树组织三维形体对象,并有效地生成区域边界表面的信息.数值实验表明,该方法拓宽了边界元电容提取处理复杂结构的能力,且具有较高效率.
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| 关 键 词： | 寄生电容 复杂互连结构 边界元法 形体处理 |
An Efficient Boundary Generation Method for Arbitrary Complex Structures in Parasitic Capacitance Extraction |
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