GaAs/AlGaAs多量子阱二维面阵红外探测器 |
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引用本文: | 李晋闽,郑海群,曾一平,孔梅影.GaAs/AlGaAs多量子阱二维面阵红外探测器[J].半导体学报,1995,16(1):48-51. |
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作者姓名: | 李晋闽 郑海群 曾一平 孔梅影 |
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作者单位: | 中国科学院半导体研究所 |
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摘 要: | 本文报道10×16元二维面阵GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器的研究进展.通过表面光栅耦合,采用垂直入射的工作模式,在T=80K时探测率为2.9e10cm·Hz(1/2)/W,电压响应率为1.3e4V/W.各测试单元间探测率和电压响应率的偏差小于18%,串音小于0.45%,在最大探测率偏置条件下,器件的暗电流密度为6.2e-)A/cm2.
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关 键 词: | 红外探测器 量子阱 砷化镓 砷化镓铝 |
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