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三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法
引用本文:喻文健,陆涛涛,王泽毅,洪先龙.三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法[J].半导体学报,2005,26(1):202-208.
作者姓名:喻文健  陆涛涛  王泽毅  洪先龙
作者单位:清华大学计算机科学与技术系设计自动化实验室 北京100084 (喻文健,陆涛涛,王泽毅),清华大学计算机科学与技术系设计自动化实验室 北京100084(洪先龙)
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划);国家自然科学基金
摘    要:基于直接边界元素法,提出一种边界电容矩阵概念,从而实现了三维互连电容的层次式提取算法.该算法将三维求解区域划分为若干小块,对每个小块分别计算其边界电容矩阵,再通过层次式合并算法便可得到全耦合互连电容矩阵.数值实验表明,本方法进行电容提取的速度比商业软件SpiceLink、虚拟多介质快速算法、区域分解法等均快一个数量级以上.

关 键 词:超大规模集成电路  互连线  电容矩阵  层次式计算  边界元法
文章编号:0253-4177(2005)01-0202-07
修稿时间:2003年12月8日

Hierarchical Extraction of Global Capacitance Matrix for 3D VLSI Interconnects
Yu Wenjian,Lu Taotao,Wang Zeyi,and Hong Xianlong.Hierarchical Extraction of Global Capacitance Matrix for 3D VLSI Interconnects[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(1):202-208.
Authors:Yu Wenjian  Lu Taotao  Wang Zeyi  and Hong Xianlong
Abstract:
Keywords:VLSI  interconnect  capacitance matrix  hierarchical computation  BEM
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