| 用新型可交联极化聚合物材料制备的脊波导有机电光调制器 |
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| 引用本文： | 杨晓红,杜云,殷爱民,石志文,吴荣汉.用新型可交联极化聚合物材料制备的脊波导有机电光调制器[J].半导体学报,2001,22(2):130-133. |
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| 作者姓名： | 杨晓红 杜云 殷爱民 石志文 吴荣汉 |
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| 作者单位： | [1]中国科学院半导体研究所，国家光电子工艺中心，北京100083 [2]中国科学院半导体研究所，国家光电子工艺中心，北 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究与发展(863)计划资助项目． |
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| 摘 要： | 制备了一种全部以聚合物为波导材料的电光调制器 ,其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料 .旋涂制备波导薄膜、电晕极化产生非线性、光刻和氧反应离子刻蚀完成脊波导为主要的工艺步骤。 1.3μm光源光纤耦合输入脊波导调制器 ,得到很好的输出端单模近场图及清晰的低频调制信号
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| 关 键 词： | 调制器 聚合物 脊形波导 |
| 文章编号： | 0253-4177（2001）02-0130-04 |
| 修稿时间： | 2000年8月31日 |
Ridge Waveguide Electro-Optic Polymer Modulator with a New Kind of Corona Poled Crosslinkable Polyurethane |
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| YANG Xiao-hong.Ridge Waveguide Electro-Optic Polymer Modulator with a New Kind of Corona Poled Crosslinkable Polyurethane[J].Chinese Journal of Semiconductors,2001,22(2):130-133. |
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| Authors: | YANG Xiao-hong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | modulator polymer ridge waveguide |
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