| 基于杨氏双缝干涉原理的SOI微环生物传感器结构与模拟 |
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| 引用本文： | 苏保青,王春霞,阚强,李俊华,解意洋,王真真,陈弘达.基于杨氏双缝干涉原理的SOI微环生物传感器结构与模拟[J].半导体学报,2011,32(7):074010-5. |
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| 作者姓名： | 苏保青 王春霞 阚强 李俊华 解意洋 王真真 陈弘达 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于杨氏双缝干涉原理的SOI基微环生物传感器。利用散射矩阵方法和双缝干涉原理得到了干涉屏上的干涉场强分布，研究结果显示，我们提出的这种传感结构非常有利于生物传感的应用，因为干涉图形相对于微环周围折射率的变化非常敏感。微环周围折射率的微小扰动就会引起干涉屏上干涉相消点的显著移动。我们通过探测干涉屏上干涉相消点的移动达到检测上限制层折射率变化的目的。
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| 关 键 词： | 绝缘体上的硅材料 微环 杨氏双缝干涉 生物传感器 |
| 修稿时间： | 3/28/2011 4:50:13 PM |
A novel structure of silicon-on-insulator microring biosensor based on Young's two-slit interference and its simulation |
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| Su Baoqing,Wang Chunxi,Kan Qiang,Li Junhu,Xie Yiyang,Wang Zhenzhen and Chen Hongda.A novel structure of silicon-on-insulator microring biosensor based on Young's two-slit interference and its simulation[J].Chinese Journal of Semiconductors,2011,32(7):074010-5. |
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| Authors: | Su Baoqing Wang Chunxi Kan Qiang Li Junhu Xie Yiyang Wang Zhenzhen and Chen Hongda |
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| Affiliation: | Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Science,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Science,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Science,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Science,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Science,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Science,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Science |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon-on-insulator microring Young's twoslit interference biosensor |
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