| 金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究 |
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| 引用本文： | 刘传珍,杨柏梁,袁剑峰,李牧菊,吴渊,寥燕平,张玉,王大海,黄锡珉.金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究[J].半导体学报,2001,22(1):61-65. |
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| 作者姓名： | 刘传珍 杨柏梁 袁剑峰 李牧菊 吴渊 寥燕平 张玉 王大海 黄锡珉 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春物理研究所北方液晶研究中心，长春130021 |
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| 基金项目： | 中国科学院科技攻关项目;KY951-A1-502; |
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| 摘 要： | 利用金属诱导晶化 ( Metal Induced Crystallization,MIC)的方法研究了 a- Si/ Ni的低温晶化 ,MIC晶化温度能降低到 44 0℃ .采用 XRD、Raman、SEM、XPS等分析手段研究了 Ni- MIC多晶硅薄膜的特性 ,对薄膜结构和组成进行了分析 ,对晶化过程的机理进行了讨论
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| 关 键 词： | 金属诱导晶化 多晶硅 |
| 文章编号： | 0253-4177(2001)01-0061-05 |
| 修稿时间： | 1999年9月22日 |
Preparation and Characterization of Poly-Crystalline Si Films Obtained by Metal Induced Crystallization at Low Temperature |
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| LIU Chuan- zhen,YANG Bai- liang,YUAN Jian- feng,LI Mu- ju,WU Yuan,LIAO Yan- ping,ZHANG Yu,WANG Da- hai and HUANG Xi- min.Preparation and Characterization of Poly-Crystalline Si Films Obtained by Metal Induced Crystallization at Low Temperature[J].Chinese Journal of Semiconductors,2001,22(1):61-65. |
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| Authors: | LIU Chuan- zhen YANG Bai- liang YUAN Jian- feng LI Mu- ju WU Yuan LIAO Yan- ping ZHANG Yu WANG Da- hai and HUANG Xi- min |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Metal Induced Crystallization ( MIC) poly- crystalline Si |
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